System, Vorrichtung und Verfahren zur Reduzierung von Kontaminanten in Ausrüstungsteilen zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen
EP1784595
Art A2
16. Mai 2007
Anmelder: ATMEL CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1784595
- Aktenzeichen
- EP05723954
- Anmeldetag
- 25. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16K11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ATMEL CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Atmel
Atmel war ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller für Mikrocontroller und wurde 2016 von Microchip Technology übernommen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Elektronik. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2021.
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Vertreten von
Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
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