Plasmaveraschungsverfahren zur Erhöhung der Photoresist-Entfernungsrate und Plasmavorrichtung mit Kühleinrichtungen
Anmelder: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1784690
- Aktenzeichen
- EP05795946
- Anmeldetag
- 1. September 2005
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027H01J37/32G03F7/42
Abstract
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Anmelder
- Firma
- AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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