Verfahren zur Reinigung von Ätzkammern mit Schleif-Suspension
Anmelder: Applied Materials, Inc., Edwards Vacuum, Inc., BOC Edwards, Inc., THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1785230
- Aktenzeichen
- EP06255599
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 21. April 2010
- Erteilung
- 21. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24C3/32B24C5/04B24C7/00H01L21/00C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Edwards Vacuum, Inc.
BOC Edwards, Inc.
THE BOC GROUP, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.
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Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München
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