Verfahren zur Herstellung eines Stempel für Mikro/Nano Imprint-Lithographie
EP1785770
Art B1
11. November 2009
Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1785770
- Aktenzeichen
- EP06021860
- Anmeldetag
- 18. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 11. November 2009
- Erteilung
- 11. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KOREA INSTITUTE OF MACHINERY & MATERIALS
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Institute of Machinery & Materials
Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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Roospatent, Kanzlei für gewerblichen Rechtsschutz mit Sitz in München. Bietet Beratung zu Patent-, Marken- und Designrecht sowohl in deutscher als auch englischer Sprache an.
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