Verfahren zur Herstellung eines Simox-Substrats

EP1786023 Art B1 16. November 2011

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1786023
Aktenzeichen
EP05762053
Anmeldetag
19. Juli 2005
Veröffentlichung
16. November 2011
Erteilung
16. November 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L27/12H01L21/265H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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