Plasma-Àtzen von konischen Strukturen
EP1786027
Art A3
4. März 2009
Anmelder: Schott AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1786027
- Aktenzeichen
- EP06008902
- Anmeldetag
- 28. April 2006
- Veröffentlichung
- 4. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Schott AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
SCHOTT
Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.
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Herden, Andreas F
Wiesbaden, Deutschland
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