Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas

EP1786245 Art B1 27. Juli 2011

Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1786245
Aktenzeichen
EP07003186
Anmeldetag
16. April 2004
Veröffentlichung
27. Juli 2011
Erteilung
27. Juli 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/24H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Limited
The BOC Group plc
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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