Verfahren zur Strukturierung eines Substrats und Vorrichtung Hierzu

EP1787164 Art B1 24. Juni 2009

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1787164
Aktenzeichen: EP05769575
Anmeldetag: 27. Juli 2005
Veröffentlichung: 24. Juni 2009
Erteilung: 24. Juni 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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