System und Verfahren zur Optimierung und Simulation von Thermomanagementsystemen und Prognostische Flusssteuerung
EP1787232
Art A2
23. Mai 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1787232
- Aktenzeichen
- EP05761925
- Anmeldetag
- 21. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F17/50G06F7/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Meier, Christof
Stuttgart, Deutschland
44
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14
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3
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