Vorrichtung zur Verarbeitung von Halbleitersubstraten und Verfahren dafür

EP1787315 Art A1 23. Mai 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1787315
Aktenzeichen
EP05773630
Anmeldetag
22. Juli 2005
Veröffentlichung
23. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00B08B3/12B08B7/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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