Silicium enthaltende antireflektive Beschichtungszusammensetzung, Silicium enthaltende antireflektive Beschichtung, Substrat prozessierende Zwischenschicht und Substrat prozessierende Methode

EP1788012 Art B1 8. April 2009

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1788012
Aktenzeichen
EP06255863
Anmeldetag
16. November 2006
Veröffentlichung
8. April 2009
Erteilung
8. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C08G77/48C09D183/14G03F7/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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