Verdampfervorrichtung mit einem Behälter für die Aufnahme von zu verdampfendem Material

EP1788113 Art B1 11. Mai 2011

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1788113
Aktenzeichen
EP05023355
Anmeldetag
26. Oktober 2005
Veröffentlichung
11. Mai 2011
Erteilung
11. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/04C23C14/56H01G13/00C23C14/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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