Entfernen von Titannitrid mittels Xenonfluorid
EP1788120
Art A1
23. Mai 2007
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1788120
- Aktenzeichen
- EP06255881
- Anmeldetag
- 17. November 2006
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44B08B7/00H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Vertreten von
Hatt, Anna Louise
London, Großbritannien
113
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7
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