Integrierter optoelektronischer Dünnschichtsensor für ein Linear-Verschiebungs-Messsystem

EP1788361 Art A3 30. Mai 2007

Anmelder: Dr. Johannes Heidenhain GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1788361
Aktenzeichen: EP07003460
Anmeldetag: 18. April 2000
Veröffentlichung: 30. Mai 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G01D5/347H01L31/16// H01L27/144

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dr. Johannes Heidenhain GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Dr. Johannes Heidenhain

Deutscher Hersteller von Mess- und Steuerungstechnik, darunter Längen- und Winkelmessgeräte, Drehgeber sowie CNC-Steuerungen für Werkzeugmaschinen und Präzisionsfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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