Verfahren zur Herstellung eines gebondeten Substrats

EP1788621 Art B1 5. August 2015

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1788621
Aktenzeichen
EP06022406
Anmeldetag
26. Oktober 2006
Veröffentlichung
5. August 2015
Erteilung
5. August 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/02B08B3/08// H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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