Steuerung der Plasmaeinheitlichkeit durch Gasdiffusorkrümmung

EP1789605 Art A2 30. Mai 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1789605
Aktenzeichen: EP05764564
Anmeldetag: 7. Juli 2005
Veröffentlichung: 30. Mai 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/509

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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