Verwendung von Methanofullerenderivaten als Resistmaterialien und Verfahren zur Bildung einer Resistschicht

EP1789849 Art B1 6. Mai 2009

Anmelder: THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1789849
Aktenzeichen
EP05783725
Anmeldetag
19. September 2005
Veröffentlichung
6. Mai 2009
Erteilung
6. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 The University of Birmingham

Die University of Birmingham ist eine britische Universität mit Forschungsschwerpunkten in Medizin und Materialwissenschaften. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Pharma und organische Chemie. Anmeldungen laufen seit 2000 bis in die Gegenwart.

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