Verfahren für das Herstellen von einer Siliziumdioxidenschicht
Anmelder: Soitec, ASM INTERNATIONAL N.V., S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1789999
- Aktenzeichen
- EP04765971
- Anmeldetag
- 16. September 2004
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2017
- Erteilung
- 7. Juni 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C23C16/40H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Soitec
ASM INTERNATIONAL N.V.
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.
323 Patente in unserer Datenbank
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Regimbeau
Regimbeau · Rennes