Lacton-Enthaltende Monomere,daraus Hergestellte Polymere und Resistzusammensetzungen,sowie Verfahren zur Herstellung von Mustern unter Verwendung Dieser Zusammen Setzungen

EP1790645 Art A1 30. Mai 2007

Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1790645
Aktenzeichen
EP05774892
Anmeldetag
24. August 2005
Veröffentlichung
30. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C07D311/94C08F20/28G03F7/039H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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