Beschichtungsverfahren mit atomaren Schichten (ald) zum Erzeugen einer Schicht hoher Qualität
EP1790758
Art A1
30. Mai 2007
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1790758
- Aktenzeichen
- EP05447261
- Anmeldetag
- 25. November 2005
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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