Mikrostruktur-Erzeugungsmaterial, Verfahren zur Erzeugung einer Mikroresiststruktur und Elektronisches Bauelement

EP1791028 Art A1 30. Mai 2007

Anmelder: Renesas Technology Corp., AZ Electronic Materials (Japan) K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1791028
Aktenzeichen
EP05780882
Anmeldetag
23. August 2005
Veröffentlichung
30. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/40H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Renesas Technology Corp.
AZ Electronic Materials (Japan) K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Renesas Technology

Renesas Technology war ein japanischer Halbleiterhersteller und Vorgängerunternehmen der heutigen Renesas Electronics. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Software, ergänzt um Datenspeicher- und Schaltungstechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2009.

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