Verfahren zur Messung der Temperatur einer Wärmeplatte, Vorrichtung zur Substratverarbeitung und Computerprogramm zur Messung der Temperatur einer Wärmeplatte

EP1791166 Art B1 6. Juli 2011

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1791166
Aktenzeichen: EP05768853
Anmeldetag: 8. August 2005
Veröffentlichung: 6. Juli 2011
Erteilung: 6. Juli 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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