Substratverarbeitungsvorrichtung, Benutzungszustands-Bestimmungsverfahren und Falschbenutzungs-Verhinderungsverfahren
EP1791167
Art A1
30. Mai 2007
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Systems Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1791167
- Aktenzeichen
- EP05770468
- Anmeldetag
- 10. August 2005
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G06F21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Systems Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
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