Reflektierender Maskenrohling für die Euv-Lithographie und Herstellungsverfahren dafür

EP1791168 Art A1 30. Mai 2007

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1791168
Aktenzeichen: EP05775172
Anmeldetag: 29. August 2005
Veröffentlichung: 30. Mai 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F1/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

7.331 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von