Verfahren zur Herstellung eines Substrats, insbesondere für optische, elektronische oder optoelektronische Anwendungen, und mittels dieses Verfahrens erhaltenes Substrat

EP1791170 Art B1 1. April 2009

Anmelder: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1791170
Aktenzeichen
EP07100845
Anmeldetag
26. November 2001
Veröffentlichung
1. April 2009
Erteilung
1. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20C30B25/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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