Verfahren zur Bewertung von Eigenschaften und zur Bildung eines Isolationsfilms für ein Halbleiterbauelement
EP1792334
Art A1
6. Juni 2007
Anmelder: Seiko Epson Corporation, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1792334
- Aktenzeichen
- EP05748474
- Anmeldetag
- 1. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 6. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/28H01L21/30C23C16/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Seiko Epson Corporation
SEIKO EPSON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Epson
Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.
7.310 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Cloughley, Peter Andrew
London, Großbritannien
836
Patente gesamt
32
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte