Verdickungsmaterial für Resiststruktur und Verfahren zur Resiststrukturbildung sowie Halbleiterbauelement und Herstellungsverfahren dafür

EP1793274 Art B1 19. Oktober 2016

Anmelder: FUJITSU LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1793274
Aktenzeichen
EP06003781
Anmeldetag
24. Februar 2006
Veröffentlichung
19. Oktober 2016
Erteilung
19. Oktober 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G03F7/40H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJITSU LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujitsu

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