Beleuchtungssystem

EP1793278 Art A3 5. Dezember 2007

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holdings N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1793278
Aktenzeichen
EP06255958
Anmeldetag
22. November 2006
Veröffentlichung
5. Dezember 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
ASML Holdings N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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