Substratreinigungsverfahren und Entwicklungsvorrichtung

EP1793417 Art A1 6. Juni 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1793417
Aktenzeichen: EP05758355
Anmeldetag: 7. Juli 2005
Veröffentlichung: 6. Juni 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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