Ätzverfahren und -System
EP1793418
Art B1
12. Juni 2013
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1793418
- Aktenzeichen
- EP05755673
- Anmeldetag
- 23. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2013
- Erteilung
- 12. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01J37/32// B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
Hebing, Norbert
Bad Nauheim, Deutschland
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