Mit Titandioxid dotiertes Quarzglas, Herstellungsverfahren, Bestandteil für EUV-Lithographie und Maskensubstrat
EP1795506
Art B2
3. Dezember 2014
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1795506
- Aktenzeichen
- EP06256239
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2014
- Erteilung
- 3. Dezember 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03C3/06C03B19/14G03F7/20
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Vertreten von
Stoner, Gerard Patrick
London, Großbritannien
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