Imprint-Lithographieverfahren, Gerät hierfür, sowie Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips

EP1795959 Art B1 3. Juni 2009

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1795959
Aktenzeichen: EP06122371
Anmeldetag: 16. Oktober 2006
Veröffentlichung: 3. Juni 2009
Erteilung: 3. Juni 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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