Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1795966 Art B1 18. Juni 2008

Anmelder: ASML Netherlands BV, ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1795966
Aktenzeichen
EP06256076
Anmeldetag
28. November 2006
Veröffentlichung
18. Juni 2008
Erteilung
18. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands BV
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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