Ausrichtungsinformations-Anzeigeverfahren, Programm Dafür, Ausrichtungsverfahren, Belichtungsverfahren, Bauelementeherstellungsverfahren, Anzeigesystem, Anzeigeeinrichtung, Programm und Mess-/untersuchungseinrichtung

EP1796136 Art B1 30. September 2015

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1796136
Aktenzeichen
EP05772567
Anmeldetag
19. August 2005
Veröffentlichung
30. September 2015
Erteilung
30. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F9/00H01L21/00G05B15/00G05B19/418G06Q50/00B23Q41/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Wiebusch, Manfred Bielefeld, Deutschland
247
Patente gesamt
28
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Hochbau & Gebäudetechnik
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