Optische Beleuchtungsvorrichtungen, Belichtungssystem und Verfahren

EP1796139 Art A1 13. Juni 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1796139
Aktenzeichen: EP05766348
Anmeldetag: 21. Juli 2005
Veröffentlichung: 13. Juni 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G02B5/30G02B7/02G02B7/00G02B13/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von