Belichtungseinrichtung, Operationsentscheidungsverfahren, Substratbehandlungssystem und Wartungsverwaltungsverfahren und Einrichtungsherstellungsverfahren
EP1796145
Art A1
13. Juni 2007
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1796145
- Aktenzeichen
- EP05781039
- Anmeldetag
- 29. August 2005
- Veröffentlichung
- 13. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Kanzlei
WP Thompson
Bereits 1873 gegründet, eine der traditionsreichsten britischen Patent- und Markenkanzleien mit Büros in London, Liverpool und Cardiff. Begleitet von der Anmeldung bis zur Verwertung, einschließlich Litigation vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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