Quarz-Einspannvorrichtung und Halbleiter-Herstellgeräte

EP1796149 Art B1 18. Oktober 2017

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1796149
Aktenzeichen
EP05768426
Anmeldetag
3. August 2005
Veröffentlichung
18. Oktober 2017
Erteilung
18. Oktober 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/31C23C16/44H01L21/00C30B13/06C30B13/24
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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