Plasmaverarbeitungssystem

EP1796442 Art B1 10. November 2010

Anmelder: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1796442
Aktenzeichen
EP05785311
Anmeldetag
20. September 2005
Veröffentlichung
10. November 2010
Erteilung
10. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/24C23C16/50H01L21/3065// H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

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