Cmp-Zusammensetzung für Verbesserte Oxidentfernungsgeschwindigkeit

EP1797151 Art B1 14. Dezember 2011

Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1797151
Aktenzeichen
EP05760474
Anmeldetag
10. Juni 2005
Veröffentlichung
14. Dezember 2011
Erteilung
14. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/02H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CABOT MICROELECTRONICS
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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