Beheizte Gasbox für Pecvd-Anwendungen

EP1797216 Art A2 20. Juni 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1797216
Aktenzeichen: EP05779323
Anmeldetag: 3. August 2005
Veröffentlichung: 20. Juni 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von