Vorläufer für die Filmbildung und Verfahren zur Bildung eines Rutheniumhaltigen Films

EP1797581 Art B1 14. Dezember 2011

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1797581
Aktenzeichen
EP05789992
Anmeldetag
26. September 2005
Veröffentlichung
14. Dezember 2011
Erteilung
14. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/285C23C16/06C23C16/40C01G55/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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