Beleuchtungsapparat, Methode zur Justierung des Beleuchtungsapparats, Belichtungssystem und Belichtungsverfahren

EP1798758 Art B2 13. März 2019

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1798758
Aktenzeichen: EP05768370
Anmeldetag: 3. August 2005
Veröffentlichung: 13. März 2019
Erteilung: 13. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B19/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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