Entfernen von Metallverunreinigungen aus Ultrahochreinen Gasen
EP1799329
Art A1
27. Juni 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1799329
- Aktenzeichen
- EP05774612
- Anmeldetag
- 19. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 27. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/02C01B3/56C01B6/34C01B25/06C01B33/04C01B35/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte