Verfahren zur Bildung einer Dichtung zwischen einem Gehäuse und einer Membran eines Kapazitiven Sensors
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1800099
- Aktenzeichen
- EP05800190
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2005
- Veröffentlichung
- 27. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
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