Verfahren zur Bildung einer Dichtung zwischen einem Gehäuse und einer Membran eines Kapazitiven Sensors

EP1800099 Art A2 27. Juni 2007

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1800099
Aktenzeichen
EP05800190
Anmeldetag
3. Oktober 2005
Veröffentlichung
27. Juni 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G01L9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Kanzlei
Maucher Jenkins Freiburg im Breisgau, Deutschland

Maucher Jenkins ist eine anglo-deutsche IP-Kanzlei mit britischen Wurzeln bis 1937, entstanden 2016 durch Zusammenschluss mit dem Freiburger Haus. Präsent in Deutschland, Großbritannien, der Schweiz und China, als Brücke zwischen den Rechtsräumen.

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