Selektives Niedertemperatur-Epitaxialwachstum von Silicium-Germanium-Schichten

EP1800331 Art A2 27. Juni 2007

Anmelder: THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1800331
Aktenzeichen
EP05798442
Anmeldetag
21. September 2005
Veröffentlichung
27. Juni 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/26C23C14/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE BOC GROUP, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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