Verfahren zum Formen von Silizium-Germanium-Schichten bei niedriger Temperatur, um den Spannungsgradient zu bestimmen

EP1801067 Art A3 9. Mai 2012

Anmelder: IMEC, American University Cairo, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1801067
Aktenzeichen
EP06026404
Anmeldetag
20. Dezember 2006
Veröffentlichung
9. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
American University Cairo
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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