Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1801653
Art A1
27. Juni 2007
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1801653
- Aktenzeichen
- EP06077157
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 27. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
van Loon, C.J.J
Den Haag, Niederlande
911
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