Substrat und Haltevorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Bauelemente-Herstellungsverfahren

EP1801850 Art B1 26. November 2014

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1801850
Aktenzeichen: EP05783614
Anmeldetag: 16. September 2005
Veröffentlichung: 26. November 2014
Erteilung: 26. November 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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