Verfahren zur Gate-Elektrodenhöhensteuerung

EP1801858 Art A1 27. Juni 2007

Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1801858
Aktenzeichen
EP06126715
Anmeldetag
20. Dezember 2006
Veröffentlichung
27. Juni 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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