Verfahren zum Schärfen von Schneidkanten

EP1802725 Art A1 4. Juli 2007

Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1802725
Aktenzeichen
EP05810840
Anmeldetag
13. Oktober 2005
Veröffentlichung
4. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14B24B3/36B24B37/00A61B19/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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